☀ 概述 ：由于渦輪分子泵的級(jí)工作壓力較低 (10-1 ～ 1Pa) ，當(dāng)僅用機(jī)械泵做前級(jí)泵時(shí)違反機(jī)械泵的有用抽速計(jì)劃，影響系統(tǒng)的抽氣效果。

☀ 此外，由于渦輪分子泵前級(jí)壓力低，前級(jí)泵油和分子泵自身軸承潤滑油的蒸氣返流率 影響了分子泵進(jìn)口的清潔程度。

☀ 在某些領(lǐng)域中 ( 如半導(dǎo)體、等離子體刻蝕等 ) ，渦輪分子泵滿足不了即懇求高的本底真空，又需要在工作真空度計(jì)劃內(nèi)具有較大的抽速和出色的清潔條件的需要。

☀ 這些都懇求前進(jìn)渦輪分子泵的前級(jí)壓力和較高入 口壓力下的抽速，以習(xí)氣更多領(lǐng)域的需要。

☀ 所以我們通過對(duì)渦輪分子泵和牽引分子泵的不斷研討改進(jìn)，運(yùn)用兩種分子泵的各自利益，將兩者聯(lián)絡(luò)，提出了復(fù)合分子 泵 70 年代初，法國的 Alcatle 公司首要研制成功 MODEL 型復(fù)合式分子泵。

☀ 對(duì)于復(fù)合分子泵，國內(nèi)也進(jìn)行了很多研討于 80 年代末及 90 年代初，中科院北京真空物理實(shí)驗(yàn)室和東北大學(xué)相繼研制出渦輪一盤式復(fù)合分子泵和渦輪—筒式復(fù)合分子泵。 

☀ 復(fù)合式分子泵的結(jié)構(gòu)特征

☀ 復(fù)合式分子泵是渦輪分子泵與牽引分子泵的串聯(lián)組合，集兩種泵的利益于一體泵在很寬的壓力計(jì)劃內(nèi) ((10-6 ～ 1Pa) 具有較大的抽速和較高的緊縮比，大大前進(jìn)了泵的出口壓力。

☀ 法國 Alcatle 公司出產(chǎn)的一種選用氣體靜壓軸承和動(dòng)密封的復(fù)合分子泵，可以做到完全無油，且不用前級(jí)泵直接向大氣中排氣。 

☀ 復(fù)合式分子泵的辦法很多，按結(jié)構(gòu)分，首要有兩種：一種是渦輪葉片與盤式牽引泵的串聯(lián)組合；另一種是渦輪葉片與筒式牽 引泵的串聯(lián)組合。

☀ 渦輪級(jí)首要用來前進(jìn)泵的抽速，一般選用有利于前進(jìn)抽速的葉片形狀，級(jí)數(shù)在 l0 級(jí)以內(nèi)。牽引級(jí)首要用來增加泵的緊縮比，前進(jìn)泵的出口壓力。 

☀ 盤式牽引級(jí)是在平板圓盤平面上按一定規(guī)矩開出數(shù)條型線溝槽，然后將數(shù)塊圓盤串接起來構(gòu)成，型線有阿基米德螺線、對(duì)數(shù)螺線、圓弧線等。

☀ 抽氣時(shí)靠高速翻滾的圓盤對(duì)氣體分子進(jìn)行“拖動(dòng)”，使其沿溝槽作由內(nèi)向外及由外向內(nèi)的往復(fù)折回的定向活動(dòng)，然后抵達(dá)抽氣目的。 

☀ 筒式牽引級(jí)是在圓筒形的轉(zhuǎn)子或定子的圓柱面上開一定斷面形狀的溝槽，如矩形、圓弧形、三角形及其它形狀的多頭螺旋 槽。

☀ 由于簡式牽引泵型線溝槽開在轉(zhuǎn)子圓柱外表面或泵體內(nèi)表面上，因此可以充沛運(yùn)用圓柱外圓較高的線速度對(duì)氣體分子進(jìn)行動(dòng)量傳遞，前進(jìn)泵的抽氣效果。

☀ 在計(jì)劃 制造中，可以通過改動(dòng)螺旋溝槽通道與抽氣方向之間的夾角 ( 螺旋升角 ) 來抵達(dá)較志向的抽氣效果。

☀ 在復(fù)合分子泵的計(jì)劃中，有必要處理好渦輪級(jí)與牽引級(jí)之間的應(yīng)配和聯(lián)接聯(lián)絡(luò)。

☀ 由于渦輪級(jí)有較大的抽氣面積，抽速很大，而 牽引級(jí)溝槽抽氣面積較小，在兩種結(jié)構(gòu)的聯(lián)接處，由渦輪葉片緊縮下來的氣體分子的活動(dòng)辦法俄然改動(dòng)，使氣體分子的運(yùn)動(dòng)在聯(lián)接處由有序變成無序，至使返流增 加，抽氣才干下降。

☀ 因此，在計(jì)劃時(shí)應(yīng)在渦輪級(jí)和牽引級(jí)改換處加上過渡級(jí)結(jié)構(gòu)，以前進(jìn)泵的抽氣功用，跟著復(fù)合分子泵的不斷改進(jìn)，其使用領(lǐng)域越來越廣，在某些抽氣系統(tǒng)上可以替代渙散泵，縮短了系統(tǒng)的抽氣時(shí)間，并可獲得無油污染的清潔真空環(huán)境。